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薄膜方塊電阻測試儀 型號：NXTR-1A/1B

貨號：ZH8860

產(chǎn)品簡介: 薄膜方塊電阻測試儀主來測量硅外延層、擴(kuò)散層和離子注入層、導(dǎo)電玻璃（ITO）和其它導(dǎo)電薄膜的方塊電阻。它由電氣測量部份（簡稱：主機(jī)）、測試架、四探針頭及測量軟件組成 使用范圍 適用于西門子法、硅烷法等生產(chǎn)多晶硅料的企業(yè) 適用于物理提生產(chǎn)多晶硅料生產(chǎn)企業(yè) 適用于光伏拉晶鑄錠及 IC 半導(dǎo)體器件企業(yè) 適用于科研、高等院校及需要量程測量電阻率的企業(yè) 產(chǎn)品特點 可測方塊電阻：適合檢測硅芯，檢磷棒，檢硼棒，籽晶等圓柱晶體硅 適用于西門子法、硅烷法等生產(chǎn)多晶硅料的企業(yè) 適用于物理提生產(chǎn)多晶硅料生產(chǎn)企業(yè) 適用于光伏拉晶鑄錠及 IC 半導(dǎo)體器件企業(yè) 適用于科研、高等院校及需要量程測量電阻率的企業(yè) 測試量程大，電阻率測試儀 主機(jī)配置了“小游移四探針頭”了一起數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性 儀器消除了珀爾帖效應(yīng)、塞貝克效應(yīng)、少子注入效應(yīng)等負(fù)效應(yīng)的影響，因此測試精度提高 測量精度高，除了具有厚度修正功能外、還有溫度修正、圓片直徑修正等功能 特的設(shè)計能消除測量引線和接觸電阻產(chǎn)生的誤差，   測量的高精度和寬的量程范圍 雙數(shù)字表結(jié)構(gòu)使測量，操作簡便 具有的測試數(shù)據(jù)查詢及打印功能 測量系統(tǒng)可實現(xiàn)自動換向測量、求平均值、zui大值、zui小值、平均百分變化率等 四探針頭采用進(jìn)口紅寶石軸套導(dǎo)向結(jié)構(gòu)，使探針的游移率減小，測量重復(fù)性提高 采用進(jìn)口元器件，留有大的系數(shù)，提高了測試儀的性和使用壽命 測量電流采用高度穩(wěn)定的恒流源（之五精度），不受氣候條件的影響 具有正測反測的功能，測試結(jié)果的準(zhǔn)確性 具有抗強(qiáng)磁場和抗高頻設(shè)備的性能 測量范圍 10-5 ------1.9*105  Ω?cm 10-4------1.9*104  Ω?cm 可測硅棒尺寸： zui大長度300mm；直徑20mm（按用戶要求改） 輸出電流：DC0.001-100mA  五檔連續(xù)可調(diào)   測量范圍：0-199.99mV 靈 敏 度： 10μA 輸入阻抗：1000ΩM 電阻測量誤差：檔均低于±0.05% 供電電源：AC 220V ±10% 50/60Hz. 推薦使用環(huán)境：溫度：23±2℃   相對溫度：≤65%